So arbeitet eine gewöhnliche Mikrowelle durch elektromagnetische Strahlung, die Wassermoleküle in Lebensmitteln anregt und Wärme erzeugt. In der Mikro- und Nanotechnologie wird diese Strahlung jedoch ganz anders genutzt. Durch spezielle Anordnung und Geometrien kann sie auch ein Plasma erzeugen – ein extrem energiereiches und ionisiertes Gas, welches einzigartige Eigenschaften besitzt und in der Nanotechnologie von zentraler Bedeutung ist.
Plasmen ermöglichen es, Materialien auf atomarer Ebene präzise zu modifizieren und Strukturen im Nanometerbereich zu schaffen, die in Bereichen wie Optik, Photonik und Halbleitertechnologie entscheidend sind. So entstehen Komponenten, die in winzige Sensoren, leistungsfähige Mikrochips oder hochpräzise optische Linsen zur Anwendung kommen.
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